數字式硅晶體少子壽命測試儀別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量

數字式硅晶體少子壽命測試儀為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量，按照標GB/T1553及SEMI MF-1535用頻光電導法研制出了數字式少子壽命測試儀。                                                      

   該設備是按照家標準GB/T1553“硅單晶少數載子壽命測定的頻光電導衰減法”制。頻光電導衰減法在我半導體集成電路、晶體管、整器件、核探測器行業已運用了三十多年，積累了豐富的使用經驗，經過數次十多個單位巡回測試的考驗，證明是種成熟可靠的測試方法，別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量；也可對硅片行測量，給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面，制樣簡便。

 數字式硅晶體少子壽命測試儀有以下點：

1、 可測量太陽能多晶硅塊、單晶硅棒少數載子體壽命。表面拋光，直接對切割面或研磨面行測量。同時可測量多晶硅檢驗棒及集成電路、整器、晶體管硅單晶的少子壽命。

2、  可測量太陽能單晶及多晶硅片少數載子的相對壽命，表面拋光、鈍化。

3、配備用軟件的數字示波器，液晶屏上直接顯示少子壽命值，同時顯示動態光電導衰退波形，并可聯用打印機及計算機。